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mocvd设备是led蓝宝石基片外延的专业设备,我公司是国内领先的mocvd内部核心部件加热器的设计、制造企业。
金属有机物化学气相淀积(metal-organic chemical vapor deposition,简称mocvd)技术生长iii-v族,ii-vi族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。 外延技术与设备是外延片制造技术的关键所在,mocvd设备的核心部件加热器尤为重要,我公司是国内领先的mocvd内部核心部件加热器的设计、制造企业。